MEMS 陀螺仪如何工作？                                                    

当角速度发生变化时，谐振质量会发生位移。这种变化可以通过电容检测。

MEMS陀螺仪的用途是什么？                                                    

汽车：ESP（电子稳定程序）、导航
航空航天：导航、态度
消费者：游戏设备、导航

MEMS陀螺仪玻璃晶圆的用途是什么？                                                    

玻璃晶圆是整个传感器功能的关键部件。它们用于传感器的封装。它们需要确保长期稳定性，特别是对于航空航天、汽车和消费类应用中的关键安全相关功能。